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满足系统出水溶解氧＜5ppb的要求。3.2.4.2TO去除器TOC去除器的主要功能是利用185μm 波长紫外线将水光解成氢氧根离子和氢离子，氢氧根离子能氧化和裂解有机物，使其被氧化形成碳酸氢根离子后，被后续混床去除。TOC去除器出力23.0m3／h，TOC可减少到5ppb以下。3.2.4.3抛光混床设置抛光混床是为了进一步去除超纯水循环系统中可能引入的微量离子，保证出水电阻率 ＞ 18.1MΩ.cm，超纯化学试剂纯水，以满足用户要求。抛光混床内装填的树脂为超纯水级树脂，失效后无需再生，超纯化学试剂纯水哪里好，直接更换。

微型：10 L/h；30 L/h；60 L/h；100 L/h；200 L/h；标准型：0．5 m3/h；1m3/h；2 m3/h；3 m3/h；大型：6 m3/h；8 m3/h；10 m3/h；EDI高纯水设备编辑 播报1、采用 XL-400模块5块;2、 电阻率、电导率在线监侧仪表一组;3、电源控制系统：主要电器元件为施乃得、欧姆龙及国产器件，采用PLC控制，电动球阀、施乃得电器元件;自来水中常含有钠、钙、镁、氯、盐、矽等溶解盐。

循环精处理系统循环精处理系统主要功能是为了保证系统出水的水质、水量的稳定性以及各项指标在通常状态下满足业主要求，超纯化学试剂纯水价格，本系统水量循环比例为1.5。系统设备主要包括氮封EDI产水箱、纯水泵、电加热器、TOC去除器、抛光混床、树脂器、终端精密过滤器和终端超滤等。3.2.4.1脱氧膜装置2脱氧膜装置采用脱氧膜2级串联，配置真空泵，以抽真空和氮气吹扫同时进行的方式，去除水中的CO2和溶解氧，装置出力 23.0 m3／h，溶解氧去除率 99.96％， CO2去除率92.30％。

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